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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備等離子清洗蘇州半導(dǎo)體晶圓等離子清洗機(jī)

蘇州半導(dǎo)體晶圓等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

蘇州半導(dǎo)體晶圓等離子清洗機(jī)原理:通過對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使之電離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括:離子、電子、原子、自由 活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2025-12-19

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :1058

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產(chǎn)品介紹


提高材料的導(dǎo)電性能:等離子清洗后的材料表面,能夠去除表面的雜質(zhì)和氧化物,從而提高材料的導(dǎo)電性能。

等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,如:

- 電子行業(yè):提高電子元器件的附著力和導(dǎo)電性能。

- 汽車制造:提高汽車零部件的耐腐蝕性和附著力。

- 醫(yī)療器械:提高醫(yī)療器械表面的無菌性和生物相容性。

- 航空航天:提高航空航天器材的表面性能和耐腐蝕性。

總之,等離子清洗機(jī)是一款非常實(shí)用的設(shè)備,能夠大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能

真空等離子主機(jī)

設(shè)備尺寸

L1000×W900×H1750mm

重量

500Kg

需求電源

AC380V,50/60Hz,5線,30A

等離子發(fā)生器規(guī)格

電源功率

射頻

中頻

0~600W

0-1000W

電源頻率

13.56MHz

40 KHz

真空系統(tǒng)

真空泵

飛越雙級(jí)旋片泵(油泵):60m3/h

真空管路

全不銹鋼管路,以及高強(qiáng)度真空波紋管

材質(zhì)

鋁合金

厚度

25mm

密封性

軍工級(jí)焊接密封

腔體內(nèi)部尺寸

450×450×500mm(寬×高×深)

電極板有效尺寸

410×400mm(寬×深)

可用空間間距

100mm

電極板布置方式

豎直電極板

工作托盤

標(biāo)配一套,材質(zhì)可選配(鋁材、304不銹鋼

工作空間

2 6個(gè)空間

工藝氣體

流量范圍

0~300SCCM

工藝氣體氣路

標(biāo)配兩路,可定制

控制系統(tǒng)

系統(tǒng)控制

PLC

交付方式

7寸觸控屏幕



等離子清洗機(jī)原理:通過對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使之電離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括: 離子、電子、原子、自由 活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。


蘇州半導(dǎo)體晶圓等離子清洗機(jī)

在等離子清洗機(jī)中,攝像頭模組被放置在清洗室中,通過等離子體的作用,將模組表面的污垢和有機(jī)物分解成無害的氣體和水。由于等離子體的高能量,清洗效果非常明顯,可以將模組表面的污垢和有機(jī)物去除,使其恢復(fù)原有的光潔度和透明度。同時(shí),等離子清洗機(jī)的清洗過程非??焖?,可以在短時(shí)間內(nèi)完成清洗,提高生產(chǎn)效率。

廠務(wù)規(guī)格要求

廠務(wù)規(guī)格要求

交流電源規(guī)格

電源:AC380V,50/60Hz,5線,16A

廠務(wù)排氣

流量:2.0 m3/min

廠務(wù)工作氣體要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:6×4 mm

材質(zhì):PU管

純度:99.99%以上

廠務(wù)壓縮空氣要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:8×5 mm

材質(zhì):PU管

露點(diǎn):-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft3

除了普通的等離子清洗機(jī)外,還有一種寬幅等離子清洗機(jī),可以同時(shí)清洗多個(gè)攝像頭模組。寬幅等離子清洗機(jī)采用連續(xù)清洗的方式,可以在一次清洗中同時(shí)清洗多個(gè)模組,提高了清洗效率和生產(chǎn)效率。同時(shí),寬幅等離子清洗機(jī)還具有自動(dòng)化控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)清洗,減少人工干預(yù),提高清洗質(zhì)量和穩(wěn)定性。





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